Intermedio de organosilicio · Agente sililante
Hexametildisilazano (HMDS)
(Bis(trimetilsilil)amina / HMDS anhidro)
| No. CAS | 999-97-3 |
| Nombre IUPAC | 1,1,1,3,3,3-hexametildisilazano |
| Sinónimos | HMDS, hexametildisilazano, 1,1,1,3,3,3-hexametildisilazano, bis(trimetilsilil)amina, hexametilsilazano, N-(trimetilsilil)trimetilsililamina |
| Fórmula molecular | C₆H₁₉NSi₂ [(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃] |
| Peso molecular | 161,39 g/mol |
| Código HS | 2931900090 |
| Grado disponible | Industrial Farmacéutico Electrónica (5N/6N) |
¿Qué es el hexametildisilazano (HMDS)? Una descripción general
Hexametildisilazano (HMDS), también escrito comohexametildisilazanoo1,1,1,3,3,3-hexametildisilazano(CAS 999-97-3), es un compuesto organosilícico incoloro y altamente volátil con un olor característico parecido al amoníaco.Forma completa de HMDS:Hexametildisilazano - un nombre que refleja su estructura de dos grupos trimetilsililo unidos por un átomo de nitrógeno:(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Esta arquitectura única de disilazano permite la sililación eficiente de grupos funcionales próticos (hidroxilo, amino, carboxilo) y una excelente hidrofobización de la superficie, lo que convierte al HMDS en un reactivo químico irremplazable en las industrias de litografía de semiconductores, síntesis farmacéutica, materiales avanzados y tratamiento de superficies.
A diferencia de los agentes de sililación tradicionales, como el trimetilclorosilano (TMCS), el HMDS ofrece condiciones de reacción más suaves, un mayor rendimiento de sililación y una generación de subproductos - significativamente menor - ventajas críticas para la fabricación de alto nivel-donde se requiere una estricta pureza y limpieza del proceso. El HMDS reacciona rápidamente con la humedad para liberar amoníaco, por lo que todos los grados deben manipularse y almacenarse bajo protección de nitrógeno.
Nos asociamos con fabricantes chinos líderes -, incluidas instalaciones certificadas por SMIC y Yangtze Memory -, para suministrar HMDS de grado industrial, farmacéutico y electrónico a precios competitivos, con envases flexibles, desde tambores de reactivos de nivel de gramo-hasta contenedores IBC industriales, y atendemos a compradores en Europa, América del Norte, el Sudeste Asiático y Medio Oriente.
Propiedades físicas y químicas del HMDS
Especificaciones de HMDS - Todos los grados
| Especificación | Grado industrial Tratamiento de Superficies / Rellenos |
Grado farmacéutico Síntesis de fármacos (GMP) |
Grado electrónico Litografía de semiconductores |
|---|---|---|---|
| Pureza (GC) | Mayor o igual a 98,0% | Mayor o igual al 99,5% | Mayor o igual a 99,999% (5N) hasta 6N para nodos avanzados |
| Contenido de agua | Menor o igual al 0,1% | Menor o igual a 0,02% | Menor o igual a 0,005% (Menor o igual a 50 ppm) |
| Color (Pt-Co) | Menor o igual a 30 | Menor o igual a 10 | Menor o igual a 5 |
| Punto de ebullición | 125-127 grados | 126,0–126,5 grados | 126,2 ± 0,2 grados |
| Punto de inflamabilidad | 17 grados (copa cerrada) | 17 grados (copa cerrada) | 17 grados (copa cerrada) |
| Impurezas metálicas | No especificado | Ión único Menos o igual a 10 ppm | Ión único Menos o igual a 1 ppb (nivel ppt para nodos de 14 nm) |
| Duración | 6 meses (N₂-sellado) | 12 meses (N₂-sellado, oscuro) | 18 meses (N₂-ultra-limpio-sellado) |
| Embalaje | Bidón de acero de 180 kg. Contenedor IBC de 1000 kg |
Bidón de HDPE de 20L Bidón de acero sellado de 200 litros de N₂- |
Bidón revestido de cuarzo-de 10 litros Bidón de acero ultra-limpio de 200 litros |
Cumple con GB/T 30301-2013, REACH y TSCA. COA, SDS/MSDS e informes de pruebas de terceros disponibles previa solicitud.
Usos y campos de aplicación de HMDS
1. Litografía de semiconductores - Promotor de adhesión fotorresistente
HMDS es el estándar-del sectorpromotor de adhesión, imprimación y agente de recubrimiento hidrofóbicoen litografía de obleas de silicio, lo que representa más de40% del consumo total de HMDS. Aplicado como imprimación en fase de vapor- (VPP) antes del recubrimiento fotorresistente, el HMDS reacciona con los grupos hidroxilo de la superficie (Si-OH) de la oblea para formar una densa capa hidrófoba de trimetilsililo. Esto mejora drásticamente la adhesión del fotoprotector, evita que el protector se pele durante el revelado y elimina la formación de cordones en los bordes -, lo que garantiza un patrón de circuito fino y preciso hastaNodos de 28 nm y menos.
A medida que los nodos semiconductores avanzados avanzan a 14 nm, 7 nm y más, los requisitos de pureza han aumentado aGrados 5N (99,999%) y 6N, con impurezas metálicas controladas a nivel de ppb-ppt. Nuestros productos HMDS de grado electrónico-emplean tecnología avanzada de eliminación de trazas de metal y cumplen con los estándares de calificación de fábricas líderes como SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory y UMC.
Referencia:Estándares SEMI - Pureza de materiales semiconductores ↗
2. Industria farmacéutica - Agente sililante para la síntesis de fármacos
En la síntesis farmacéutica, el HMDS se utiliza ampliamente comoagente sililantepara proteger los grupos funcionales próticos reactivos (–OH, –NH₂, –COOH) en productos intermedios de fármacos, previniendo reacciones secundarias no deseadas y mejorando significativamente la selectividad de la reacción y el rendimiento del producto objetivo. Es un reactivo clave en la síntesis de ingredientes farmacéuticos activos (API) antitumorales, antivirales y antialérgicos.
Nuestro HMDS de calidad farmacéutica- (mayor o igual al 99,5 % de pureza, compatible con GMP-) ha sido validado por empresas CDMO farmacéuticas líderes y proporciona una calidad de lote estable esencial para la investigación y el desarrollo de medicamentos y la fabricación a gran-escala.
Referencia:Farmacopea de los Estados Unidos (USP) ↗
3. Materiales y tratamiento de superficies - Agente de hidrofobización
HMDS es un altamente eficazagente de hidrofobizaciónpara cargas inorgánicas como sílice pirógena y dióxido de titanio. La modificación de la superficie con HMDS mejora significativamente la compatibilidad entre el relleno y la matriz en compuestos de caucho de silicona y resina epoxi, mejorando las propiedades mecánicas (dureza, resistencia a la tracción) y la resistencia a la intemperie. Se utiliza ampliamente en materiales de encapsulación de OLED y en el tratamiento de vidrio de módulos fotovoltaicos, donde las superficies modificadas con HMDS-muestran un rendimiento de barrera contra la humedad notablemente mejorado, lo que extiende la vida útil en ambientes exteriores hostiles.
ParaTratamiento de superficies de vidrio, cerámica y metal., HMDS forma una película hidrófoba densa unida covalentemente que evita la absorción de humedad y la corrosión.
Referencia:PubChem - Hexametildisilazano (NIH) ↗
4. Química analítica y química fina
En química analítica, el HMDS se utiliza comoreactivo de derivatizaciónpara análisis por GC de compuestos próticos (alcoholes, fenoles, ácidos carboxílicos). Los derivados sililados exhiben una mayor volatilidad y una separación cromatográfica mejorada, lo que permite un análisis cuantitativo preciso de trazas de sustancias en matrices complejas.
En productos químicos finos, el HMDS sirve como intermediario para los tensioactivos de silicona-de alta gama y las resinas de silicona que se utilizan en los productos químicos diarios y en la impresión textil. Se prevé que el mercado de HMDS de grado electrónico-crezca a una tasa compuesta anual del 18,3 % hasta 2026, impulsado por la aceleración de la localización de semiconductores y la expansión de la capacidad de CDMO farmacéutica.
Referencia:Registro ECHA REACH - HMDS ↗
5. HMDS como base - LiHMDS, NaHMDS y KHMDS
Más allá de su función como agente sililante, el HMDS es un precursor clave de las bases de amida metálica ampliamente utilizadas:LiHMDS(hexametildisilazida de litio, bis(trimetilsilil)amida de litio),NaHMDS(hexametildisilazida sódica), yKHMDS(hexametildisilazida potásica). Estas bases fuertes e impedidas son reactivos esenciales en la síntesis farmacéutica y química fina para la formación selectiva de enolatos, desprotonación dirigida y reacciones asimétricas donde el volumen estérico y la quimioselectividad son críticos.
LiHMDS(CAS 4039-32-1) es el más utilizado, apreciado por su alta basicidad (pKa ~30 en THF) y excelente solubilidad en disolventes etéreos.NaHMDSyKHMDSOfrecen una reactividad creciente y se utilizan cuando LiHMDS no es suficientemente reactivo. Los tres se fabrican a partir de HMDS como material de partida clave, por lo que el suministro de HMDS de alta-pureza es fundamental para su producción.
Suministramos HMDS de alta-pureza adecuado como materia prima para la producción de LiHMDS, NaHMDS y KHMDS. Contáctenos para especificaciones a granel.
¿Cómo se fabrica el HMDS? Proceso de fabricación
El HMDS se fabrica comercialmente mediante dos rutas principales. lo tradicionalproceso de amonolisis de clorosilanohace reaccionar trimetilclorosilano (TMCS) con exceso de amoníaco: 2 (CH₃)₃SiCl + NH₃ → (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + 2 HCl. El subproducto HCl se neutraliza y el producto bruto se purifica mediante rectificación multietapa. Una alternativatecnología de transaminación verdeutiliza hexametildisiloxano (HMDSO) y amoníaco en condiciones catalíticas, lo que reduce los subproductos-de cloruro y el impacto ambiental.
Nuestros fabricantes asociados operan líneas de producción de amonólisis continua con sistemas de purificación por adsorción por tamiz molecular y rectificación de múltiples etapas, lo que brinda una pureza constante de un lote a otro en todos los grados.
Almacenamiento, estabilidad y manipulación segura de HMDS
Requisitos de almacenamiento
Guárdelo en un lugar fresco (de 0 a 25 grados), seco y bien-ventilado.almacén-a prueba de explosioneslejos de fuentes de calor, llamas abiertas y luz solar directa. Todo el embalaje debe estar sellado con nitrógeno-para aislar la humedad y el aire. - El HMDS se hidroliza rápidamente al entrar en contacto con la humedad ambiental. Grado industrial: bidones de acero sellados con nitrógeno-. Grados farmacéutico y electrónico: tambores ultra-con nitrógeno-sellados de HDPE o revestidos de cuarzo-(embalaje limpio ISO 14644 para grado electrónico). Sepárelo de oxidantes y ácidos fuertes con una separación mínima de 20-pies o una barrera resistente al fuego- de 30-minutos. Apilado máximo: 2 capas para bidones de acero de 180 kg. Equipar el almacén con iluminación a prueba de explosiones y extintores de polvo seco o CO₂.
Nota de estabilidad
El HMDS es químicamente estable cuando se almacena seco y bajo nitrógeno. La exposición a la humedad provoca hidrólisis; la exposición a ácidos u oxidantes fuertes puede provocar reacciones violentas. Evite la exposición prolongada a temperaturas superiores a 30 grados para evitar la volatilización acelerada.
Seguridad y manipulación (Resumen de SDS/MSDS)
EPI requerido:Ropa anti-estática, guantes de caucho de nitrilo (triple-capa para operaciones de alto-riesgo), gafas de seguridad química, protector facial y respirador para vapores orgánicos (SCBA para espacios confinados). No comer, beber ni fumar durante las operaciones.
Respuesta al derrame:Cortar inmediatamente las fuentes de ignición y evacuar contra el viento. Aislar el área del derrame. Absorba con arena seca o carbonato de sodio - NO use agua. Transfiera el material absorbido a contenedores sellados para su eliminación. No descargar al alcantarillado ni al suelo.
Primeros auxilios:Piel - quitar la ropa contaminada, lavar con agua y jabón por mayor o igual a 15 min. Ojos - enjuagar con agua durante más o igual a 15 min, buscar atención médica. Inhalación - Salga al aire libre inmediatamente. La ingestión - no induce el vómito; busque atención médica de emergencia. PDF SDS/MSDS completo disponible a través de nuestro equipo de ventas.
Precio HMDS - 2025 Referencia de mercado
ElPrecio HMDS(precio del hexametildisilazano) varía significativamente según el grado de pureza, las especificaciones del empaque y el volumen del pedido. Los siguientes son precios de referencia indicativos para 2025 para productos de origen-China (ex-fábrica):
Mayor o igual a 98,0%
Mayor o igual al 99,5%
Mayor o igual a 99,999% (5N)
Preguntas frecuentes sobre HMDS
P: ¿Qué significa HMDS? ¿Qué es el formato completo de HMDS?
HMDS significahexametildisilazano- el nombre químico completo es 1,1,1,3,3,3-hexametildisilazano, también escrito como hexametildisilazano. En química, HMDS se refiere específicamente a este compuesto organosilícico (CAS 999-97-3) con la estructura (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Nota: "HMDS" también se utiliza como abreviatura en campos no relacionados (por ejemplo, contextos médicos, militares o agrícolas), pero en contextos de química y fabricación de semiconductores, HMDS invariablemente significa hexametildisilazano.
P: ¿Para qué se utiliza el HMDS en la fabricación de semiconductores?
El HMDS se utiliza como promotor de adhesión en fase de vapor-(imprimador) que se aplica a las superficies de las obleas de silicio antes del recubrimiento fotorresistente. Reacciona con los grupos Si-OH de la superficie para formar una monocapa hidrófoba de trimetilsililo, que mejora drásticamente la adhesión del fotoprotector, previene la delaminación durante el revelado húmedo y garantiza la precisión dimensional de los patrones de circuitos finos. Es un material de proceso estándar en prácticamente todas las fábricas de obleas de silicio del mundo, desde líneas tradicionales de litografía EUV de 200 mm hasta-las más modernas líneas de litografía EUV de 300 mm.
P: ¿Cuál es la diferencia entre HMDS de grado industrial y de grado electrónico?
El grado industrial (mayor o igual al 98,0 %) es adecuado para el tratamiento de superficies de rellenos (sílice pirógena, TiO₂), recubrimientos y aplicaciones de sililación generales donde el contenido de trazas de metales no es crítico. El grado electrónico (mayor o igual a 99,999 %, 5 N) requiere impurezas metálicas individuales por debajo de 1 ppb - obligatorio para la litografía de semiconductores donde una contaminación metálica inferior a - ppb causaría fallas en el dispositivo. Electronic Grade se empaqueta en condiciones ultra-limpias ISO 14644 en tambores de acero-revestidos de cuarzo o ultra-limpios certificados, y cada lote va acompañado de un informe completo de metales traza ICP-MS.
P: ¿Por qué el HMDS reacciona con el agua y cómo se debe almacenar?
HMDS contiene un enlace Si-N-Si que es altamente susceptible a la hidrólisis: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. El amoníaco liberado crea una acumulación de presión en los recipientes sellados y el hexametildisiloxano (HMDSO) resultante contamina el producto. Por lo tanto, todos los grados deben almacenarse bajo nitrógeno seco en recipientes sellados, entre 0 y 25 grados, lejos de cualquier fuente de humedad. Los contenedores abiertos deben volver a cerrarse-inmediatamente y cubrirse con nitrógeno después de cada uso.
P: ¿Qué es HMDS y en qué se diferencia de HMDSO?
HMDS (hexametildisilazano, CAS 999-97-3) contiene un enlace Si-N-Si y es el reactivo sililante activo. El HMDSO (hexametildisiloxano, CAS 107-46-0) contiene un enlace Si-O-Si y es el subproducto de la hidrólisis del HMDS; es mucho menos reactivo. El HMDS se utiliza como modificador químico de superficies y reactivo de sililación; HMDSO se utiliza principalmente como fluido de silicona no reactivo y materia prima para la síntesis de HMDS. Los dos no deben confundirse al especificar materiales para litografía o procesos farmacéuticos.
P: ¿Qué certificaciones debo exigir de un proveedor de HMDS?
Para aplicaciones industriales: ISO 9001 (gestión de calidad) e ISO 14001 (medioambiental). Para grado farmacéutico: cumplimiento de GMP, capacidad de proporcionar COA referenciado por USP/EP-e informes de control de calidad de terceros-. Para grado electrónico: confirmación de la calificación de la fábrica de semiconductores posteriores (p. ej., certificaciones SMIC, UMC), cumplimiento de estándares SEMI F47 o materiales equivalentes, informe completo de metales traza ICP-MS por lote y embalaje limpio con certificación ISO 14644. Todos los grados deben tener registros REACH y TSCA vigentes para exportación internacional.
P: ¿Qué sucede cuando el HMDS reacciona con el agua?
El HMDS reacciona rápidamente con el agua mediante hidrólisis: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH → (CH₃)₃Si–O–Si(CH₃)₃ + NH₃. Los productos son hexametildisiloxano (HMDSO) y amoníaco. Esta reacción es exotérmica y genera gas amoníaco, que crea presión en los recipientes sellados y degrada la pureza del producto. Esta es la razón por la que todos los grados de HMDS -, incluido el industrial -, deben almacenarse y manipularse bajo nitrógeno seco en todo momento. Incluso la humedad ambiental puede iniciar una hidrólisis lenta durante períodos de almacenamiento prolongados.
P: ¿Cuáles son las principales alternativas al HMDS y cuándo se prefiere el HMDS?
Las alternativas comunes a los agentes sililantes incluyen trimetilclorosilano (TMCS), N-metil-N-trimetilsililacetamida (MSA) y N,O-bis(trimetilsilil)acetamida (BSA). Se prefiere el HMDS cuando se requieren condiciones de reacción suaves (sin subproducto HCl), cuando un alto rendimiento de sililación es crítico o cuando el proceso requiere una contaminación mínima por subproductos ácidos o corrosivos -, lo que lo convierte en la opción estándar para el tratamiento de obleas semiconductoras y la síntesis farmacéutica. Para la hidrofobización industrial a granel donde el costo es el principal factor, se puede utilizar TMCS como una alternativa de menor-costo.
Referencias y estándares de la industria
Propiedades fisicoquímicas completas, datos toxicológicos, clasificaciones GHS e información regulatoria.
Organismo de normalización internacional para especificaciones de pureza y protocolos de calificación de materiales semiconductores.
Expediente oficial de REACH de la UE: clasificaciones de peligros, escenarios de exposición y estado regulatorio.
Autoridad mundial en reactivos analíticos y de alta-pureza; estándar de referencia para la evaluación comparativa de calidad HMDS.
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